加速度センサ

VTIの加速度センサは、VTIの定評ある堅牢なシリコン容量型3D MEMSテクノロジーを基本にしています。

センシングエレメントとASIC（センシングエレメントの性能を最大限に活用するように設計された集積回路）は、デュアルインラインまたはデュアルインフラットラインのLCPパッケージパッケージ内に配置され、表面実装用およびリフローはんだ付け用のピンと共に、組立てられます。センシングエレメントとASICはシリコンゲルでシールされ、高湿環境および温度変化に対して高度の性能と信頼性を発揮します。測定方向は実装面に並行または垂直です。

ASICには、校正係数付きのオンチップEEPROMメモリーが内蔵されています。VTIの加速度センサには高度な故障検知機能があり、その内容はデジタル起動の自己診断、校正メモリーのパリティまたはチェックサムチェック、ならびに常時故障検知機能です。本製品は水平または垂直測定用で、ゼロ点温度依存性は1mg/°C未満です。センシングエレメントはオーバーダンピング（不活性ガス封入により高周波ノイズを低減）構造です。