3軸検知
VTIの3軸加速度センサの設計コンセプトは、1軸加速度センサで用いられているソリューションを踏襲しています。3軸加速度センサエレメントには、1軸センサエレメントで培われた技術、バルクMEMSや静電容量検出機構などを活用しています。
センサエレメント内部には複数のマスがあり、このマスはシリコンウェハの表面近傍にあるトーションスプリングで保持されています。バルクMEMSで作られたこれらのマスは表面MEMSに比べて厚みや重さがあり、高感度・低ノイズを実現しています。
検出結果は、これら複数のマスのベクトル合成結果になります。マスの上下に静電容量検出機能が構成されています。このマスに加速度が加えられると、トーションスプリングにより、マスは回転方向に動かされます。この動きに合わせて、マス上下の静電容量が変化します。
複数のマスのベクトル成分を内部ASICで合成計算し、製品のX、Y、Z方向の検出加速度として出力します。計算結果により、3軸いずれも高精度な線形応答が得られます。
